ULVAC/日本愛發(fā)科羅茨干式真空泵型號(hào)HR
多級(jí)羅茨干式真空泵是在真空室中使用油或液體的機(jī)械真空泵。
FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域需要更清潔的真空，需要真空泵來提高良率和可維護(hù)性。代表性的泵之一是羅茨式干式真空泵。

多級(jí)羅茨干式真空泵

型號(hào)：HR
通過在高溫區(qū)域?qū)Ρ皿w進(jìn)行均質(zhì)化，可以將CVD、蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣材料以
氣態(tài)排出。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時(shí)間：2025-09-03
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產(chǎn)品詳情

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